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专利号 专利名称 专利类别 状态 完成人
一种高效率偏振纯化装置 发明专利 2013.09.30 黄金苹;林妩媚;邢廷文;范真节;张海波
表面等离子体功能结构器件及低能电子的纳米光刻方法 发明专利 2013.09.25 罗先刚;王长涛;赵泽宇;王彦钦;陶兴;刘凯鹏;姚纳;刘玲;黄成;蒲明薄
基于表面等离子体波照明的光刻成像设备及光刻成像方法 发明专利 2013.09.24 罗先刚;王长涛;赵泽宇;王彦钦;姚纳;胡承刚;蒲明薄;王炯;刘利芹;杨磊磊
增强照明数值孔径超分辨光刻成像设备及光刻成像方法 发明专利 2013.09.24 罗先刚;王长涛;赵泽宇;王彦钦;胡承刚;蒲明薄;李雄;黄成;何家玉;罗云飞
一种目标视线角偏移量及距离的测量装置和方法 发明专利 2013.09.22 冯志辉;岳永坚;杨武;袁林晨;代冬军
滑轨升降装置 发明专利 2013.09.18 付韬韬;王安定
一种投影光学系统 发明专利 2013.09.18 冉英华;邢廷文;林妩媚;吕保斌;陈红丽;张海波;白瑜
一种同时测量高反镜S和P偏振光反射率的方法 发明专利 2013.09.11 李斌成;祖鸿宇;韩艳玲
一种折反变焦系统系列化的方法 发明专利 2013.09.11 刘银辉;吴钦章;韩梦赟;于玲;徐杨;谢博
一种基于动态调控人工电磁结构材料的相控阵天线 发明专利 2013.09.06 罗先刚;黄成;马晓亮;王长涛;蒲明博;潘文波;崔建华;赵波
一种小孔径高反镜反射率测量方法 发明专利 2013.09.05 李斌成;祖鸿宇;韩艳玲
一种深紫外光刻照明系统 发明专利 2013.09.05 卢亮;张海波;何毅;林妩媚
一种基于弧形手性人工结构材料的双频双圆极化天线 发明专利 2013.09.05 罗先刚;黄成;马晓亮;王彦钦;赵泽宇;崔建华
一种用于子孔径拼接检测的数据采样路径规划方法 发明专利 2013.09.01 汪利华;吴时彬;任戈;景洪伟;谭毅;杨伟
一种投影物镜数值孔径测量装置及方法 发明专利 2013.09.01 陈红丽;邢廷文;林妩媚;廖志杰
一种光束耦合器 发明专利 2013.08.30 温正明;刘兴法;杜俊峰
一种基于两面图形结构的短焦距衍射透镜 发明专利 2013.08.26 汪利华;吴时彬;杨伟;景洪伟
一种磁流变高精度定位装置及磁流变去除函数转换方法 发明专利 2013.08.26 钟显云;万勇建;施春燕;杨金山;陈辉
一种基于双层胶技术的掩模平坦化方法 发明专利 2013.08.19 罗先刚;王长涛;赵泽宇;王彦钦;沈同圣;刘玲;胡承刚;黄成;杨磊磊;潘思洁;崔建华;赵波
一种芯片型表面等离子体光谱仪 发明专利 2013.08.16 邓启凌;夏良平;庞辉;史立芳;杜春雷
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