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专利库 |
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| 专利名称: |
基于表面等离子体波照明的光刻成像设备及光刻成像方法
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| 英文名称: |
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| 专利类别: |
发明专利
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| 申请号: |
CN103454866A
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| 申请日期: |
2013.09.24
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| 授权日期: |
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| 专利号: |
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| 第一发明人: |
罗先刚;王长涛;赵泽宇;王彦钦;姚纳;胡承刚;蒲明薄;王炯;刘利芹;杨磊磊
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| 其它发明人: |
罗先刚;王长涛;赵泽宇;王彦钦;姚纳;胡承刚;蒲明薄;王炯;刘利芹;杨磊磊
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| 国外申请日期: |
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| 国外申请方式: |
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| 专利授权日期: |
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| 缴费情况: |
实质审查的生效
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| 实施情况: |
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| 专利证书号: |
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| 专利摘要: |
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| 其它备注: |
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