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专利库 |
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| 专利名称: |
一种基于双光束聚合引发以及抑制的高分辨成像光刻方法
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| 英文名称: |
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| 专利类别: |
发明专利
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| 申请号: |
CN103984211A
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| 申请日期: |
2014.05.08
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| 授权日期: |
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| 专利号: |
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| 第一发明人: |
罗先刚;李雄;王长涛;王彦钦;赵泽宇;胡承刚;蒲明薄;王炯;高国函;马晓亮
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| 其它发明人: |
罗先刚;李雄;王长涛;王彦钦;赵泽宇;胡承刚;蒲明薄;王炯;高国函;马晓亮
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| 国外申请日期: |
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| 国外申请方式: |
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| 专利授权日期: |
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| 缴费情况: |
实质审查的生效
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| 实施情况: |
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| 专利证书号: |
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| 专利摘要: |
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| 其它备注: |
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