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院士专家
姓    名:
严伟
性    别:
职    务:
 
职    称:
研究员
通讯地址:
四川成都双流西航港光电大道1号
邮政编码:
610209
电子邮件:
yanwei@ioe.ac.cn
 简历:
  严伟:男,1977年2月生,研究员,博士生导师,四川省杰青,国家科技专家库专家,西部之光联合学者,首届青促会会员,中国科学院光电所青年创新人才。2000年至今一直在中国科学院光电技术研究所“微电子装备总体研究室”工作,主要研究集中于微电子装备研制,以及相关微纳光学、光学测量的关键技术研究工作。 近5年承担的科研任务包括:作为总师完成国家科技重大专项课题“下一代193nm光子筛聚焦无掩模光刻关键技术”;主持国家自然科学基金面上项目、中国科学院国防科技创新基金项目、四川省杰青基金、西部之光项目、院装备项目等科研任务。获中国半导体行业协会半导体创新产品和技术奖1项、四川省科技进步二等奖和三等奖各1项、中国烟草总公司科学技术发明奖三等奖1项。发表科技论文40余篇(第1作者10篇),发明专利16项,软件版权2项(第一申请人8项,授权发明专利11项)

 研究领域
  信息获取与处理

 社会任职:
  青促会会员

 获奖及荣誉:
 

 代表论著:
 

 承担科研项目情况:
 

 代表论著:
 
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