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双频激光干涉仪
作者: 发布时间:2013-07-03 阅读次数:
双频激光干涉仪
仪器名称:双频激光干涉仪
仪器用途:用于几何量、数控机床移动部件定位精度测量
主要技术指标:测量范围0~30m;测量精度(0.1+0.2L) μm
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