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超精密定位气浮工件台
作者: 发布时间:2016-03-10 阅读次数:

 

 

主要技术指标
★ 运动摆动:<0.5”
★ 工件台行程:150×150mm;
★ 重复定位精度:60nm
★ 微动灵敏度:5nm
★ 水平摆动:<0.5"
★ 垂直摆动:<0.5"
★ 垂直跳动:0.4µm

联系人:胡主任、唐主任

电话:85101784、85100564

 
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